监控系统的软件备份包括：组态软件、组态数据、组态生成的应用程序、I/0设备驱动、通信设置、数据库及历史数据等，有的还有汉化平台。
1、软件包的备份和保管
监控系统的操作系统、组态软件、应用程序、驱动程序等，厂商提供的大多为光盘，盘片应很好地保存并复制一套。将源盘和复制盘分别保管在两处安全的地点。监控系统安装调试正常运行后，应利用系统的备份功能将实际应用的软件及上位机监控软件等备份到U盘或移动硬盘并刻录成光盘进行保管。
2、硬盘数据的备份
当监控系统崩溃时，重新恢复系统耗用时间长。因此对硬盘进行备份，用其恢复系统耗用时间相对较少，再则对于技术力量薄弱的用户，对硬盘进行备份是明智的选择。常用的方法有：
①硬盘整盘备份
a、常规做法
在计算机上安装两块硬盘，分别设置为主、从盘，只需改动一下硬盘上的跳线即可，而安装双硬盘采取的是整盘备份的方法，即将“主盘”的数据全部复制到“从盘”上，备份结束后可将“从盘”取下保存；系统恢复时将此硬盘装至计算机，并设置为“主盘”即可使用。此法耗用时间很短，但缺点是历史数据不连续，但此法仍是一种最好的方法。再有就是硬盘复制后可不取下来，而是装在计算机上用来定时向“从盘”内传送历史数据，这样历史数据的连续性比上述的方法好，但缺点是灾难事故发生时，数据丢失或毁坏的情况仍无法避免，必须打开计算机的机箱进行操作，还有就是用移动硬盘来备份。
b、用磁盘阵列RAID
RAID就是一种由多块硬盘构成的冗余阵列。RAID 的出现就是基于数据安全性，RAID可以提供良好的容错能力，在任何一块硬盘出现问题的情况下，都可以继续工作，不会受到损坏硬盘的影响。
采用RAID 0+1是最好的模式，既保证了速度，又能保证数据的安全。RAID 0+1模式至少需要用4块硬盘，以现在硬盘价格来看，组成一个RAID 0+1模式的阵列其投资与板卡价格相比，还是很便宜的，但数据安全性有了更大的保障。
②硬盘的分区备份
这一方法在系统恢复时不用打开计算机的机箱。就是把硬盘C区备份到另一个分区上，并可指备份分区隐藏起来以策安全，这是一种系统恢复时最方便的方法，缺点是仍克服不了灾难事故造成的影响。
③硬盘备份的最佳方案
上述的备份方法各有优缺点，因此取其长处组成最佳备份方案。即先进行硬盘的整盘备份后，将备份硬盘取下保存，然后再对使用的硬盘进行分区备份，恢复系统用分区备份方式恢复，特殊情况再使用保存的硬盘来恢复系统。再者现在的硬盘价格不高，这样的方案既经济合理又安全可靠。
④硬盘备份的操作
硬盘的备份操作采用DOS或WIN命令都可进行，但其有一定的局限性和难度。最好的方法是采用工具软件进行，现介绍工具软件Ghost集成精简版，并列操作方法作一简介。
a、硬盘分区备份操作
先将Ghost装至U盘上，在Windows下运行ghost32.exe。备份方式有两种：
一、分区备份（Partition To Partition），要求目标分区容量等于或大于源分区。从主菜单中选择Local→Partition→To Partition选项，移动蓝色信息条，选择源分区位置和选择目标分区位置，按ok后出现提问窗口，按Yes后即开始复制。
二、分区备份(Partition To Image)，则是将源分区制作成一个镜像文件，操作方法为：从主菜单中选择local→Partition→To Image选项，打开制作分区镜像文件的窗口，选择要备份的分区，再输入镜像文件名称和存放路径，确认后即开始生成后缀名为GHO的镜像文件；接下来会询问是否希望压缩所备份的数据，并给出三个选择：“No”表示不对备份数据进行压缩，“Fast”表示小比例压缩，“High”表示高比例压缩。根据情况选择后，选Yes即开始进行分区的备份，备份文件将存储在指定目录中，还可将备份的镜像文件设成隐含文件，以防意外删除。
b、硬盘整盘备份操作
仍采用Ghost进行。在主菜单中选择Local→Disk→To Disk，先选择源硬盘再选择目标硬盘。确认后再选择了Yes即开始整盘复制，程序会将目标硬盘复制得和源硬盘几乎完全一样，要注意的是目标盘容量必须比源盘大。Ghost备份的速度相当快，不用久等就可以完成。
3、应用程序的备份
组态软件能把组态产生的应用程序、数据词典、控制策略等分别压缩成相关的备份文件，便于用户保存这几个备份文件，当需要时可以随时恢复。
技术力量较强、对恢复系统有能力的用户，可以不用进行硬盘备份，而只需要对上述的程序进行备份，并在操作中充分利用组态软件自身所带的备份功能，对历史数据有较强要求的用户，还要定时作历史数据的增量备份，此外还要备份I/O设备驱动、通信设置等程序。
4、备份工具及备份载体的说明
为保障监控系统的安全，多数组态应用软件启动后，就接管了计算机的操作权，如果安装第三方软件是有风险的，因此备份工具选绿色软件较妥，如Disk Geniusv3.0和Ghost11集成精简版。特别要指出的是DiskGeniusv3.0支持在Windows运行状态下备份系统盘；其支持分区复制操作。并提供“全部复制”、“按结构复制”、“按文件复制”三种复制方式，以满足不同需求；并支持硬盘复制功能，同样提供与分区复制相同的三种复制方式。
由于USB接口的普及，备份用移动硬盘和U盘是很好的选择，但要求注意的是最好为备份专用，否则由于移动硬盘和U盘使用方便和使用频繁其染病毒的可能性也大，这对监控系统是不安全的。由于光盘价格低，把数据刻录至光盘保存也是不错的选择。
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